温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种用来固定用于ＬＥＤ生产的单晶晶片的衬托器，其包括衬托器主体，该主体包括用来承载单晶晶片的凹陷，所述凹陷具有表面糙度（Ｒ↓［最高１９１］）不大于约１０微米的表面。所述衬托器主体包括硅浸渍的碳化硅，和覆盖着该衬托器主体的氮化物层...
该专利属于圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。