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本发明提供一种作为光学膜的含有Ｓｉ－Ｏ的氢化碳膜，其对于波长为５２０ｎｍ的光的折射率为至少１．４８到至多１．８５，并且对于波长为２４８ｎｍ的光的消光系数小于０．１５，其中，通过使用能量束照射，折射率和消光系数都降低。通过使用这种含有Ｓｉ－Ｏ...
该专利属于住友电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。

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