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本发明涉及激光退火方法以及装置。在透镜阵列方式的均化器光学系统的情况下，一边使长轴用透镜阵列（２０ａ、２０ｂ）在与线状光束的长轴方向对应的方向（Ｘ方向）往复移动，一边进行激光照射，由此，入射到在后级设置的构成长轴用聚光光学系统的大型透镜（长...
该专利属于株式会社ＩＨＩ所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社ＩＨＩ授权不得商用。

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