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本发明提供一种用于校准末端执行器相对于等离子体处理系统中的卡盘的对准的方法。该方法包括提供从该末端执行器到该卡盘的第一光束。该方法包括使该末端执行器沿着预定校准路径移动以使该第一光束遍历该卡盘的表面。该方法还包括接收一组反射光信号，该组反射...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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