温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公布一种ＶＧＦ法砷化镓单晶用脱舟器，属半导体材料制备设备领域。脱舟器主体为长方形箱体，箱体的一个端面上焊接一排呈半圆状排列的喷射管，喷射管在脱舟器箱体内有喷射口。化学溶剂在磁力泵的推动下，从进液口依次进入进液管和喷射管，从喷射口喷...该专利属于北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司授权不得商用。