下载非晶氧化物和场效应晶体管的技术资料

文档序号:5473330

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一种非晶氧化物至少包含:选自由In、Zn和Sn构成的组的至少一种元素;和Mo。该非晶氧化物中的Mo对比所有金属原子的数量的原子组成比大于等于0.1原子%且小于等于5原子%。...
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