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一种适用于多种介质、多种尺寸的倒片机,它包括:底座,在底座的下边装两条导轨,在导轨上装一滑条(1),滑条的中间部位和另一滑条(3)固定连接,滑条(3)由滑条(1)和一导孔(4)定位,滑条(3)和硅片推杆(5)固定连接;在底座上表面上装两条定...该专利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司授权不得商用。