专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
北京理工大学
>
磁控反应釜用线圈制造技术
>技术资料下载
下载磁控反应釜用线圈的技术资料
文档序号:5468863
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供一种磁控反应釜用线圈,涉及电磁线圈技术领域,该线圈是将铜漆包线缠绕于固定的圆筒状支架上,由5-30组线圈组合而成,每组线圈可以分层缠绕,也可以分段缠绕,每组线圈用隔板隔开,隔板为中空的水冷却器,圆筒状支架和隔板为工程塑料、碳钢...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。