下载磁控反应釜用线圈的技术资料

文档序号:5468863

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本实用新型提供一种磁控反应釜用线圈,涉及电磁线圈技术领域,该线圈是将铜漆包线缠绕于固定的圆筒状支架上,由5-30组线圈组合而成,每组线圈可以分层缠绕,也可以分段缠绕,每组线圈用隔板隔开,隔板为中空的水冷却器,圆筒状支架和隔板为工程塑料、碳钢...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。

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