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描述一种等离子体激发装置，其用于从分布式电子回旋共振所形成的等离子体在衬底上沉积膜。该装置包含具有发射微波的末端的微波天线，设置在所述天线末端的区域中而且与其一起限定出在其中可以生成等离子体的电子回旋共振区域的磁体，以及具有膜前体气体或等离...
该专利属于陶氏康宁公司;巴黎综合理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过陶氏康宁公司;巴黎综合理工大学授权不得商用。

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