下载形成包括具有受应力的信道区的场效晶体管的半导体结构的方法的技术资料

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一种形成半导体结构的方法,包括提供半导体衬底,该半导体衬底包括第一晶体管元件及第二晶体管元件。该第一晶体管元件包括至少一个第一非结晶区(amorphous region),而该第二晶体管元件包括至少一个第二非结晶区。应力产生层系形成于该第一...
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