下载一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法的技术资料

文档序号:5467132

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本发明涉及一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法,该方法包括:将硅粉加入到干燥器后,用140-160℃的干燥氮气干燥5-6个小时;控制系统控制将干燥后的硅粉与氯化氢按1∶3-1∶4的摩尔比送入合成炉;在合成炉内,硅粉和氯化氢进行气固相反应;合成...
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