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氧化物半导体场效应晶体管及其制造方法技术
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文档序号:5466363
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本发明提供一种场效应晶体管,其具有半导体层,所述半导体层包含以下述(1)~(3)式的原子比包含In元素及Zn元素、和选自Zr、Hf、Ge、Si、Ti、Mn、W、Mo、V、Cu、Ni、Co、Fe、Cr、Nb、Al、B、Sc、Y及镧系元素类中的...
该专利属于出光兴产株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过出光兴产株式会社授权不得商用。
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