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本发明涉及一种以氧化钛为主成分的薄膜，其特征在于，包含Ｔｉ、Ａｇ和Ｏ成分，Ｔｉ为２９．６原子％以上且３４．０原子％以下，Ａｇ为０．００３原子％以上且７．４原子％以下，余量由氧构成，氧与金属的比Ｏ／（２Ｔｉ＋０．５Ａｇ）为０．９７以上。本发明...
该专利属于日矿金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日矿金属株式会社授权不得商用。

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