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依照本发明的实施方案中的一种半导体工件加工系统具有至少一件用于加工半导体工件的加工工具，一种用于承载至少一件加工工具的容器，容器中的半导体工件可以在至少一种加工工具之间往返传送，以及一种延长的初级传送单元，该单元界定了运动方向。此初级传送单...
该专利属于布鲁克斯自动化公司所有，仅供学习研究参考，未经过布鲁克斯自动化公司授权不得商用。

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