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本发明涉及一种厚度测定方法，本发明所涉及的厚度测定方法利用干涉计测定层叠在基底层上的对象层的厚度，上述厚度测定方法包括：通过由与上述对象层实质上相同的材质构成并具有相互不同厚度的诸多样品层，获得对于上述样品层厚度的相位差的关系式的步骤；在空...
该专利属于株式会社ＳＮＵ精密所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社ＳＮＵ精密授权不得商用。

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