下载用于钝化完整性测试的嵌入式结构的技术资料

文档序号:5459246

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本发明涉及一种用于测试覆盖半导体器件的钝化层(108)的完整性的方法和系统。将导电材料的结构层(104)沉积到所述半导体器件的衬底(102)的至少一部分顶部表面上。所述结构层(104)包括多个带(104.1,104.2),所述多个带与至少两...
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