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互连结构，用于将第一和第二组件互连的互连结构，用于将多组件堆叠结构和基底互连的互连结构，以及制造互连结构的方法。互连结构包括：基部，形成在第一组件的安装表面上；柱部，从基部起与安装表面基本垂直地延伸；和头部，形成在柱部上并且具有比柱部大的横...
该专利属于科技研究局;南洋理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过科技研究局;南洋理工大学授权不得商用。

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