下载用于测量表面形状轮廓的方法和装置的技术资料

文档序号:5458320

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一种用于测量薄材料板的表面的形状轮廓的装置,包括:光源,用于提供被引导至该薄材料板的表面处的光束;线性平移平台,其耦合至光源以使光源在该薄材料板的该表面上方平移,从而该光束在被引导至表面处时入射在表面上的多个位置处,并在多个位置中的每个位置...
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