用于测量表面形状轮廓的方法和装置制造方法及图纸

一种用于测量薄材料板的表面的形状轮廓的装置，包括：光源，用于提供被引导至该薄材料板的表面处的光束；线性平移平台，其耦合至光源以使光源在该薄材料板的该表面上方平移，从而该光束在被引导至表面处时入射在表面上的多个位置处，并在多个位置中的每个位置处产生反射光束；位于预定位置处的多个光接收器，用于选择性地截取在多个位置中的每个位置处产生的反射光束；数据采集设备，其被配置成接收关于光源与在截取多个位置中的每个位置处所产生的反射光束的多个光接收器中选定的一个光接收器之间的位置差的信息；以及数据分析设备，其被配置成将位置差信息与薄材料板的表面的形状轮廓相关联。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及用于制造薄材料板的方法和装置。更具体地，本专利技术涉及用于测 量薄材料板的形状轮廓的方法和装置。本专利技术还涉及在诸如熔融拉制和浮法工艺之类的薄 板形成工艺中使用此类测量方法和装置。背景诸如用于制造大平板显示器或可切割以制造诸如有源电子器件、光伏器件以及生 物序列之类的其他器件的具有非常平坦表面的大材料板难以制造和处理。作为示例，已知 诸如举例而言授权给Dockerty的美国专利No. 3，338，696和3，682，609中所述的熔融拉制 工艺能在不增加诸如研磨和抛光之类的后成形修整工序成本的情况下得到具有优良平坦 度和表面光滑度的薄材料板。然而，已经发现成形区中的薄板运动能不利地影响薄板中的 应力水平和应力变化，这可能导致最终产品中的畸变。成形区中的薄板运动可至少部分地 归因于熔融拉制机底部处或拉制结束时(BOD)的薄板处理和分离工艺。例如，用于在BOD处 分离薄板的当前机械工艺涉及利用硬或刚性装置进行薄板接触、薄板划刻以及薄板弯曲， 所有这些都导致薄板运动。所形成的薄材料板越大，薄板运动对薄板中的应力水平及其变 化的影响越显著。影响薄材料板畸变的因素在其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测量薄材料板的表面的形状轮廓的装置，包括：光源，用于提供被引导至所述薄材料板的所述表面处的光束；线性平移平台，其耦合至所述光源以使所述光源在所述薄材料板的所述表面上方平移，从而所述光束在被引导至所述表面处时入射在所述表面上的多个位置处，并在所述多个位置中的每个位置处产生反射光束；位于预定位置处的多个光接收器，用于选择性地截取在所述多个位置中的每个位置处产生的所述反射光束；数据采集设备，其被配置成接收关于所述光源与在截取所述多个位置中的每个位置处所产生的所述反射光束的所述多个光接收器中选定的一个光接收器之间的位置差的信息；以及数据分析设备，其被配置成将所述位置差信息与所述薄材料板的所述表...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：X陈，A刘，周乃越，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]