下载基板传送装置、基板传送方法以及真空处理装置的技术资料

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一种使将基板以垂直状态传送的托架轻量化的基板传送装置。基板传送装置(11)向以垂直状态传送平板状的基板(W)的托架(23)交接基板,该基板传送装置(11)具备转移机构(22)。转移机构(22)包括:具有矩形的框体的、能以沿水平方向延伸的转动...
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