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基板传送装置、基板传送方法以及真空处理装置制造方法及图纸
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文档序号:5458199
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一种使将基板以垂直状态传送的托架轻量化的基板传送装置。基板传送装置(11)向以垂直状态传送平板状的基板(W)的托架(23)交接基板,该基板传送装置(11)具备转移机构(22)。转移机构(22)包括:具有矩形的框体的、能以沿水平方向延伸的转动...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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