下载高界面强度类金刚石薄膜材料的常温沉积设备及其方法的技术资料

文档序号:5457730

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本发明涉及一种高界面强度类金刚石薄膜材料的常温沉积设备及其方法,设备采用一个由平面平板电极和钨丝线圈电极所构成的复合阳极,在钨丝线圈阳极上加工出锐角的三角形槽口,以形成尖端放电点;在DC直流等离子放电中,在DLC薄膜表面形成一定密度的微孔构...
该专利属于郑锦华;郑州大学所有,仅供学习研究参考,未经过郑锦华;郑州大学授权不得商用。

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