温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

用于通过激光干涉检测进行位置确定的系统和方法采用了跨平面区域（３００）的宽光束宽度激光投影（３０１）。透镜系统（２２２）用来提供所述宽光束宽度投影，分束系统（２２５）用来使干涉图案与所述宽光束宽度投影的特定段相关。反射的干涉光束在检测器阵列...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。