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ＨＶＰＥ反应器装置包括反应室（１）、用于将工艺气体引入反应室的气体进口（２）、残留气体出口（３）以及用于通过残留气体出口从反应室排出残留气体的泵（４），所述泵能够在所述反应室中产生并维持小于或等于大约１００ｍｂｒ的压强。根据本发明，反应器装...
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