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本发明提供用于将间距倍增大于２的因数的单个间隔物工艺。在一个实施例中，在衬底上方形成ｎ（其中ｎ≥２）层堆叠心轴（１５０ｂ）、（１４０ａ），所述ｎ层中的每一者包含彼此大致平行的多个心轴（１５０ｂ）、（１４０ａ）。层ｎ处的心轴（１５０ｂ）在层ｎ...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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