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一种前体源器具（１００）包括器具本体（１０４）、在器具本体（１０４）内的通道（１４５）以及附连到本体（１０４）的表面的阀门（１０８，１１０，２１０）。内部腔室（１１１）适于容纳化学反应物，而且通道（１４５）从本体（１０４）外部延伸到腔室（１...
该专利属于ASM美国公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASM美国公司授权不得商用。

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