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半导体用膜、半导体用膜的制造方法及半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:5453422
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本发明的半导体用膜,按照粘合层、第一粘结层、第二粘结层的顺序进行贴合而成,上述第二粘结层的外周部超过上述第一粘结层的外周边缘,该半导体用膜是用于在上述粘合层的与第一粘结层相反侧的表面上层叠半导体晶片并且在上述第二粘结层的上述外周部上贴合晶片...
该专利属于住友电木株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电木株式会社授权不得商用。
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