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一种用于测试半导体器件（５０）的方法，包括：利用光束（４１）照射所述半导体器件内的晶体管，其中照射晶体管在该晶体管内感生电流（６８）；以及响应于所述照射，检测来自所述晶体管的光子发射。一种半导体器件测试系统（１０）包括：光束发射器（１８），...
该专利属于飞思卡尔半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过飞思卡尔半导体公司授权不得商用。

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