下载具有电容式微机械超声波换能器的超声波扫描设备的技术资料

文档序号:5444811

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本发明提供了超声波扫描设备和超声波扫描设备的制造方法,该方法的一个实施方式包括,将柔性电子器件(如集成电路)、柔性超声波换能器(如圆形CMUT阵列的一部分)和柔性构件集成。该集成电路、换能器和柔性构件可形成以柔性子组件,该子组件被卷起以形成...
该专利属于科隆科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过科隆科技公司授权不得商用。

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