具有电容式微机械超声波换能器的超声波扫描设备制造技术

技术编号:5444811 阅读:236 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了超声波扫描设备和超声波扫描设备的制造方法,该方法的一个实施方式包括,将柔性电子器件(如集成电路)、柔性超声波换能器(如圆形CMUT阵列的一部分)和柔性构件集成。该集成电路、换能器和柔性构件可形成以柔性子组件,该子组件被卷起以形成超声波扫描设备。集成电路和换能器的集成可同时发生。可选地,电子设备的集成可发生在换能器的集成之前。另外,换能器的集成可包括使用半导体技术。而且,卷起的子组件可形成管腔或可被接合到管腔。该方法可包括折叠柔性子组件的一部分,以形成前视换能器。一些子组件的柔性构件可以包括一对支架。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有电容式微机械超声波换能器的超声波扫描设备优先权本申请要求2007年12月3日递交的序列号为60/992,020的美国临时申请和2008 年1月30日递交的序列号为61/024,843的美国临时申请的优先权。背景本申请涉及电容式微机械超声波换能器(CMUT)扫描设备,尤其涉及装有基于 CMUT的超声波扫描设备的导管(catheter)。导管允许外科医生通过导航导管的末端到病灶存在的位置以诊断和治疗深陷于 身体内部的病灶。这样,外科医生可以在病灶存在的位置操作不同的传感器或仪器,以对病 人最小的侵入性伤害来采取确定的措施。一种被广泛使用的传感器就是超声波扫描设备。 超声波扫描设备产生一定频率的声波,所述频率选择为使该超声波扫描设备能允许超声波 穿透各种组织和其他生物的结构,并能从上述各种组织和其他生物的结构返回回声。通常, 期望选择大约20兆赫兹或者更高赫兹的频率。超声波扫描设备周围组织的图像可以根据 这些返回的回声获得。存在两种类型的超声波扫描设备,这两种类型的超声波扫描设备基 于压电晶体(即,由压电材料或压电复合材料制造的晶体)和基于电容式微机械超声波换 能器(CMUT和嵌入式触发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种方法,其用于制造基于导管的医疗设备,所述方法包括:将电子电路和柔性构件集成;将超声波换能器和所述柔性构件集成,所集成的电子电路、超声波换能器和柔性构件成为柔性子组件;将所述柔性子组件成形为超声波扫描设备;和将所述超声波扫描设备接合到所述导管上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2007-12-3 60/992,020;US 2008-1-30 61/024,843一种方法,其用于制造基于导管的医疗设备,所述方法包括将电子电路和柔性构件集成;将超声波换能器和所述柔性构件集成,所集成的电子电路、超声波换能器和柔性构件成为柔性子组件;将所述柔性子组件成形为超声波扫描设备;和将所述超声波扫描设备接合到所述导管上。2.根据权利要求1所述的方法,其中所述超声波换能器是柔性的。3.根据权利要求1所述的方法,其中电子器件是柔性的。4.根据权利要求1所述的方法,还包括在将所述电子器件和所述超声波换能器与所述 柔性构件集成之前,在基底的器件层集成所述电子器件和所述超声波换能器。5.根据权利要求4所述的方法,还包括通过基底的器件层形成至少一个图案化的开□。6.根据权利要求5所述的方法,还包括形成具有至少一个嵌入式空腔的器件层。7.根据权利要求4所述的方法,还包括在S0I晶片上形成所述器件层。8.根据权利要求1所述的方法,还包括同时将所述电子器件和所述超声波换能器与所 述柔性构件集成。9.根据权利要求1所述的方法,其中集成所述超声波换能器包括使用半导体技术。10.根据权利要求1所述的方法,其中所成形的柔性部件至少界定了管腔的一部分。11.根据权利要求1所述的方法,其中集成所述柔性超声波换能器是来自包括所述柔 性超声波换能器的活动表面的所述超声波换能器侧。12.根据权利要求1所述的方法,还包括将所成形的柔性构件接合到管腔。13.根据权利要求1所述的方法,其中所述柔性超声波换能器包括至少一个电容式微 机械超声波换能器(CMUT)。14.根据权利要求1所述的方法,还包括折叠控制所述柔性超声波换能器的所述柔性 构件的一部分,其中所述柔性构件的所折叠的部分和所述柔性超声波换能器形成前视超声 波换能器。15.根据权利要求1所述的方法,其中柔性超声波换能器至少包括圆形CMUT阵列的一 部分。16.根据权利要求1所述的方法,其中所述柔性构件包括一对支架。17.一种基于导管的医疗设备,其包括 电子电路;超声波换能器;柔性构件,其中所述电子电路和所述超声波换能器与所述柔性构件集成,所集成的电 子电路、...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄勇力
申请(专利权)人:科隆科技公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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