下载光或放射线检测器的制造方法及光或放射线检测器的技术资料

文档序号:5441211

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本发明提供一种光或放射线检测器的制造方法及光或放射线检测器, 在形成半导体时,在模仿基板上通过蒸镀形成了规定厚度的半导体后,从 该模仿基板替换成支承基板即石墨基板,并在该石墨基板上通过蒸镀继续 形成半导体。在模仿基板上通过蒸镀形成规定厚度的...
该专利属于株式会社岛津制作所;独立行政法人国立高等专门学校机构所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所;独立行政法人国立高等专门学校机构授权不得商用。

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