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本发明涉及一种溅镀装置，其即使将塑料等耐热性低的材料作为工件而通过溅镀成膜时，也能够抑制热电子射入工件，因此不会发生因热量而导致工件变形等问题。所述溅镀装置在真空腔室内具备靶材、设置成与所述靶材对向且具有旋转轴的转盘式工件夹具，其特征在于，...
该专利属于荏原优莱特科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过荏原优莱特科技股份有限公司授权不得商用。

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