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本发明提供一种等离子体发生装置，包括：微波发生部，产生微波；波导管，用于传 送所述微波；多个等离子体发生喷嘴，在微波传导方向上彼此相隔地安装到所述波导管上， 用于接收所述微波并基于该微波的能量产生并喷射等离子体气体；以及多个短柱，对应于 等...
该专利属于诺日士钢机株式会社;阿玛仁特技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺日士钢机株式会社;阿玛仁特技术有限公司授权不得商用。

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