温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种离子浓度监控系统，其包括镀膜腔、向镀膜腔提供混合气体的气体供应装置、电离真空管、光纤及气体流量控制器。该镀膜腔内的混合气体被放电激发为不同的离子。该电离真空管的一端与镀膜腔连通，另一端通过光纤与气体流量控制器相连。该电离真空管激发混合气...该专利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。