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一种用以自集成电路基板移除微粒物质的组合物，包括（ａ）一或多种不含金属离子的碱；（ｂ）多面体倍半硅氧烷的水溶性不含金属离子的鎓盐；（ｃ）氧化剂；和（ｄ）不含金属离子的水，及由合并包括（ａ）、（ｂ）、（ｃ）和（ｄ）的成份而得的组合物。一种用以...
该专利属于沙琛公司所有，仅供学习研究参考，未经过沙琛公司授权不得商用。

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