下载基板检查装置的技术资料

文档序号:5433231

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本发明的基板检查装置(1),包括,对基板(P)进行检查的检查组件(50)、通过手动操作能够将基板(P)供给到该检查组件(50)的基板供给组件(24)、显示包括上述基板(P)的检查结果的规定信息的液晶监视器(4),该基板检查装置(1)中,还包...
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