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含有硅的陶瓷基板，该基板表面的二氧化硅和硅的复合氧化物的浓度为２．７Ａｔｏｍ％以下。...
该专利属于三菱综合材料株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱综合材料株式会社授权不得商用。

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