下载烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法的技术资料

文档序号:5431737

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本发明提供一种烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法,该方法是:先对钕铁硼磁体表面抛光处理后装炉;抽真空5×10-3-10-1Pa,通氩气18~35Pa,接通直流电源甲,在钕铁硼磁体与真空室壳体之间加180~450伏负偏压,通过辉...
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