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本发明涉及一种涡轮分子泵（１０），包括泵壳体（１４）和多个单独的环形定子叶片盘（１６），所述盘共同形成环形盘组（１８）。在所述环形盘组（１８）与泵壳体（１４）之间直接布置有圆柱形摩擦衬套（２０）。在所述环形盘组（１８）与泵壳体（１４）之间设...该专利属于厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及一种涡轮分子泵（１０），包括泵壳体（１４）和多个单独的环形定子叶片盘（１６），所述盘共同形成环形盘组（１８）。在所述环形盘组（１８）与泵壳体（１４）之间直接布置有圆柱形摩擦衬套（２０）。在所述环形盘组（１８）与泵壳体（１４）之间设...