下载用于在超净室中传送对冲击敏感的玻璃板的装置和方法的技术资料

文档序号:5430025

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公开了一种用于薄的、对冲击敏感的晶体板,特别是玻璃板(11),从水平到定义的垂直位置的无污染传送的方法和装置。所述方法和装置具有下列特征:a)为了抓住玻璃板(11),传送叉的横向支撑(6)设置在玻璃板(11)下方,所述横向支撑(6)与吸料头...
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