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对于由多个不同的加工工位（Ｐ１１－Ｐ１ｎ，Ｐ２１－Ｐ２ｍ）对工件进行真空处理，加工工位被分组为两组（Ｉ和ＩＩ）。工件被同时向着第一组（Ｉ）的加工工位搬运或从第一组（Ｉ）的加工工位搬运，从而由第二组（ＩＩ）的加工工位以可选则的单个的顺序处理工...
该专利属于ＯＣ欧瑞康巴尔斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＯＣ欧瑞康巴尔斯公司授权不得商用。

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