【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术致力于制造由多个真空处理工艺进行处理的工件，从而尤其涉及制造类似 于晶片的衬底、数据存储磁盘或用于与太阳能电池板制造相关的光电应用的衬底，例如被 涂覆的玻璃衬底。
技术介绍
对于真空中的衬底的处理，例如涂覆多层、加热、冷却、清洁以及蚀刻，存在着许多 在不破坏真空的情况下输送衬底通过抽真空的加工工位的组件的原理。US 2006/0054495和US 5658114显示了真空加工工位的线性组件。在US 5655277 中，真空加工工位被组装成圆形配置。在这两种情况下，即在线性布置和圆形布置中，整个加工的一个循环可被细分成 两种类型的步骤，即输送步骤和加工步骤。通常，加工装置中的所有衬底是同时，即及时并 行地从一个加工工位输送到下一加工工位的。衬底因而以明确限定的顺序穿过所有工位， 这种顺序对于所有正在被加工的衬底而言是相同的。在输送步骤之后为相应的加工步骤， 在该加工步骤中，在相应的真空加工工位中同时通过真空工艺而对衬底进行处理。衬底的输送步骤只能在相应的真空加工工位中的所有加工完成之后才开始。因 而，整个装置的间歇时间由相应的真空加工工位处的加工时间跨度...
【技术保护点】
一种用于制造工件的方法，各工件由多个真空处理工艺处理，所述方法包括： 提供用于各个所述真空工艺的真空加工工位； 将所述真空加工工位至少分组成分别进行第一真空处理工艺的第一组真空加工工位和分别进行第二真空处理工艺的第二组第二真空加工工位；所述第一组真空工艺分别具有第一加工时间跨度； 所述第二组真空处理工艺分别具有第二加工时间跨度； 所述第一加工时间跨度比所述第二加工时间跨度更短； 通过各个所述第一真空工艺而连续地处理各个工件，并从而将工件同时从所述第一加工工位中的一个输送到所述第一加工工位中的下一个； 由所述第二真空工艺处理工件，从而将工件个别地输送至所选择的第二...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2007-10-24 60/982,256一种用于制造工件的方法，各工件由多个真空处理工艺处理，所述方法包括提供用于各个所述真空工艺的真空加工工位；将所述真空加工工位至少分组成分别进行第一真空处理工艺的第一组真空加工工位和分别进行第二真空处理工艺的第二组第二真空加工工位；所述第一组真空工艺分别具有第一加工时间跨度；所述第二组真空处理工艺分别具有第二加工时间跨度；所述第一加工时间跨度比所述第二加工时间跨度更短；通过各个所述第一真空工艺而连续地处理各个工件，并从而将工件同时从所述第一加工工位中的一个输送到所述第一加工工位中的下一个；由所述第二真空工艺处理工件，从而将工件个别地输送至所选择的第二加工工位并从所选择的第二加工工位输送。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，由所述第二真空工艺处理工件，包括由所 述第二真空处理工艺中的相同工艺同时处理工件。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括在真空中将所述工件从所述第 一组加工工位输送到所述第二组加工工位或反向输送。4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，从而将所述第一加工时间跨 度的和选择成大致等于所述第二加工时间跨度中的至少一个。5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，所述工件是衬底。6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法，其特征在于，所述工件是半导体或存储器 件晶片。7.根据权利要求1-5中任一项所述的方法，其特征在于，所述工件是用于光电应用的 衬底，从而尤其用于制造太阳能板。8.一种真空处理装置，包括 第一组第一真空加工工位； 第二组第二真空加工工位；所述第一加工工位由第一工件输送设备供给，该第一工件输送设备被设想用于将工件 同时从所述第一加工工位中的相应工位...
【专利技术属性】
技术研发人员：B海因茨，
申请(专利权)人：OC欧瑞康巴尔斯公司，
类型：发明
国别省市：LI[列支敦士登]
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