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用于在处理系统中处理工件的设备和方法。设置在处理系统的处理腔室（４０）内部的工件竖直升降机构（２００）适合将工件（５５）往复于电极（２４）的基座部（２８６）地转移。基座部（２８６）配置成在处理期间支撑工件（５５）。工件竖直升降机构（２００）...
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