用于在处理系统中处理工件的设备和方法技术方案

用于在处理系统中处理工件的设备和方法。设置在处理系统的处理腔室（４０）内部的工件竖直升降机构（２００）适合将工件（５５）往复于电极（２４）的基座部（２８６）地转移。基座部（２８６）配置成在处理期间支撑工件（５５）。工件竖直升降机构（２００）包括在第一位置与第二位置之间相对于基座部（２８６）可移动的工件固定器（２９０）以便于将工件（５５）从工件固定器（２９０）转移到基座部（２８６），在第一位置上，工件固定器（２９０）将工件（５５）与基座部（２８６）保持成非接触的关系，在第二位置上，基座部（２８６）凸出到工件固定器（２９０）之上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总的来说涉及处理系统，更具体地说，涉及用于在处理系 统中处理工件的设备和方法。
技术介绍
在执行处理工艺期间，诸如等离子处理工具之类的处理系统通过 保持机构将诸如半导体、陶瓷、或者金属基板或晶片之类的工件支撑 在处理腔室内部。某种保持机构包括多个配置成一致地升起或降下的 升降销用于将工件相对于支撑件的顶面升起和降下。在降下的位置上， 所述升降销的顶端与所述支撑件的顶面平齐或者稍微凹入到支撑件的 顶面之下以便于所述工件至少部分地接触到所述顶面。在升起的位置 上，所述升降销的顶端接触到工件的底面(背面)并将工件举到所述 支撑件的顶面上方。典型地，多个升降销建立了多个与工件的背面的 接触点。所获得的升起的工件与所述支撑件之间的间隙提供了插入末 端执行器的空间。传统处理系统中的升降销的必要条件是在处理腔室中需要一个或 多个机械导管用于将机械运动从所述处理腔室外部的位置传递到所述 升降销。每个机械导管需要至少一个贯穿所述处理腔室腔壁的端口。 每个端口提供了真空泄漏的主要位置。此外，所述升降销与工件之间 的接触可能破坏或污染工件的背面。另外，升起和降下所述升降销的 过程可能产生污染所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理工件的设备，所述设备包括：　包括上电极和下电极的处理腔室，所述下电极包括配置成在处理期间支撑所述工件的基座部；和　在所述处理腔室中的工件竖直升降机构，所述工件竖直升降机构包括设置在所述上电极和所述下电极之间的竖直可动 构件，并且所述竖直可动构件配置成相对于所述基座部在第一位置和第二位置之间竖直移动，以便将所述工件从所述竖直可动构件转移到所述基座部，在所述第一位置中，所述竖直可动构件将所述工件与所述基座部保持成非接触的关系，在所述第二位置中，所述基座部凸出到所述竖直可动构件的上方。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2006-8-22 60/823,1751. 一种用于处理工件的设备，所述设备包括包括上电极和下电极的处理腔室，所述下电极包括配置成在处理期间支撑所述工件的基座部；和在所述处理腔室中的工件竖直升降机构，所述工件竖直升降机构包括设置在所述上电极和所述下电极之间的竖直可动构件，并且所述竖直可动构件配置成相对于所述基座部在第一位置和第二位置之间竖直移动，以便将所述工件从所述竖直可动构件转移到所述基座部，在所述第一位置中，所述竖直可动构件将所述工件与所述基座部保持成非接触的关系，在所述第二位置中，所述基座部凸出到所述竖直可动构件的上方。2. 根据权利要求l所述的设备，其中所述上电极能够朝向所述下 电极移动，并且还包括多个与所述上电极机械连接的弹性偏压推动块，所述弹性偏压推 动块适合于当所述上电极朝向所述下电极移动时接触所述竖直可动构 件，以便将所述竖直可动构件从所述第一位置移到所述第二位置。3. 根据权利要求2所述的设备，还包括 底部；和盖子，所述盖子能够相对于所述底部在打开位置与关闭位置之间 移动，在所述打开位置中，所述盖子与所述底部分离，在所述关闭位 置中，所述盖子紧接所述底部，其中所述上电极与所述盖子机械连接， 并且所述弹性偏压推动块适合于当所述盖子从所述打开位置朝向所述 关闭位置移动时接触所述竖直可动构件，以便从所述第一位置向所述 第二位置推动所述竖直可动构件。4. 根据权利要求l所述的设备，其中所述上电极和下电极具有大 致平行的面对表面，并且所述竖直可动构件位于所述面对表面之间。5. 根据权利要求l所述的设备，还包括在所述下电极和所述上电极之间的绝缘隔离环，所述绝缘隔离环、 所述下电极和所述上电极共同地限定所述处理腔室的边界，并且所述 竖直可动构件在外围上位于所述绝缘隔离环的内部。6. 根据权利要求l所述的设备，其中所述上电极能够朝向所述下 电极移动，并且还包括多个配置成将所述竖直可动构件与所述下电极连接的弹性偏压支 撑件，所述弹性偏压支撑件配置成推动所述竖直可动构件远离所述下 电极，以提供所述第一位置。7. 根据权利要求6所述的设备，还包括 底部；和盖子，所述盖子能够相对于所述底部在打开位置与关闭位置之间 移动，在所述打开位置中，所述盖子与所述底部分离，在所述关闭位 置中，所述盖子紧接所述底部，其中所述上电极与所述盖子机械连接，并且所述弹性偏压支撑件 适合于当所述上电极朝向所述下电极移动时屈服，以便允许所述竖直 可动构件从所述第一位置移到所述第二位置。8. 根据权利要求6所述的设备，其中所述竖直可动构件包括第一 开口，所述第一开口配置成当所述竖直可动构件处于所述第一位置中 时支撑所述工件，并且还包括第二构件，该第二构件配置成作为对所述竖直可动构件的替换通 过所述弹性偏压支撑件与所述下电极连接，所述第二构件包括直径不 同于所述竖直可动构件中的所述第一开口的第二开口。9. 根据权利要求8所述的设备，其中所述基座部的尺寸设计成配 合在所述第 一开口内，并且所述基座部配置成被从所述处理腔室移除，以用于与另一基座部调换，该另一基座部的尺寸设计成配合在所述第 二构件中的所述第二开口内。10. 根据权利要求l所述的设备，其中所述基座部从所述下电极朝 向所述上电极凸出。11. 根据权利要求l所述的设备，其中所述竖直可动构件包括外 周边；在所述外周边的内部的开口，该开口的尺寸设计...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹姆斯P法西奥，
申请(专利权)人：诺信公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]