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互补型绝缘体上硅(SOI)结式场效应晶体管及其制造方法技术
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文档序号:5428307
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本发明公开了一种半导体器件,其包括在绝缘体上硅(SOI)晶片上制造的互补型结式场效应晶体管(JFET)。P型JFET包括由n型多晶硅形成的控制栅极(170),n型JFET包括由p型多晶硅形成的控制栅极(110)。互补型JFET可包括具有形成...
该专利属于帝斯曼方案公司所有,仅供学习研究参考,未经过帝斯曼方案公司授权不得商用。
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