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制造用于检查电子装置的检查设备的方法制造方法及图纸
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文档序号:5424411
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在制造用于检查电子装置的检查设备的方法中,将牺牲基板形成为包括通孔的基板图案。包括从第一表面穿透至其第二表面的内部配线的主基板以这样的配置与基板图案结合,使得通孔位于内部配线的上方,从而形成结合结构。在基板图案的通孔中形成填充结构,并且填充...
该专利属于飞而康公司所有,仅供学习研究参考,未经过飞而康公司授权不得商用。
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