下载制造用于检查电子装置的检查设备的方法的技术资料

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在制造用于检查电子装置的检查设备的方法中,将牺牲基板形成为包括通孔的基板图案。包括从第一表面穿透至其第二表面的内部配线的主基板以这样的配置与基板图案结合,使得通孔位于内部配线的上方,从而形成结合结构。在基板图案的通孔中形成填充结构,并且填充...
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