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本发明涉及用于光学位置测量装置的检测元件阵列,通过它可以将在检测平面中引起的条纹图转换成电的扫描信号。该检测元件阵列由许多矩阵式地设置在行和列中的光敏检测元件组成。对至少一部分检测元件附设不多于两个的开关,通过它们使每个检测元件有选择地与一...该专利属于约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及用于光学位置测量装置的检测元件阵列,通过它可以将在检测平面中引起的条纹图转换成电的扫描信号。该检测元件阵列由许多矩阵式地设置在行和列中的光敏检测元件组成。对至少一部分检测元件附设不多于两个的开关,通过它们使每个检测元件有选择地与一...