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具有在绝缘体上硅或体硅中构建的背栅极的结场效应晶体管制造技术
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下载具有在绝缘体上硅或体硅中构建的背栅极的结场效应晶体管的技术资料
文档序号:5421898
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通过故意将沟道-阱PN结与栅极区域短路,实现了一种没有用于背栅极的表面接触的结场效应晶体管,该晶体管实现了沟道中的两倍跨导并且具有更高的切换速度。这是通过以下方式实现的:故意刻蚀掉至少栅极区域中有源区外部的场氧化物,以便暴露出有源区的侧壁,...
该专利属于帝斯曼方案公司所有,仅供学习研究参考,未经过帝斯曼方案公司授权不得商用。
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