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具有通过镀敷形成的接线柱的互连元件制造技术
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文档序号:5413037
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提供一种用于与其上具有至少一个微电子器件或配线的另一元件(172)导电地互连的互连元件(170,190)。互连元件包括具有主表面的介电元件(187)。包括多个暴露的金属接线柱(130)的镀敷的金属层(130,192)可以向外突出,超过介电元...
该专利属于泰塞拉公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰塞拉公司授权不得商用。
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