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高压双极-CMOS-DMOS集成电路器件及其模块形成方法技术
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文档序号:5412930
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一种全低温工艺用于在不包括外延层的衬底中制造各种半导体器件。所述器件包括非隔离的横向DMOS、非隔离的延伸漏极或漂移的MOS器件,横向沟槽DMOS、隔离的横向DMOS、JFET和耗尽模式器件、以及P-N二极管箝位和整流器和结端区。由于所述工...
该专利属于先进模拟科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进模拟科技公司授权不得商用。
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