下载使用低等硅原料制成半导体晶锭的方法和系统的技术资料

文档序号:5409908

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本发明公开了硅晶锭生成技术使用低级硅原料在一坩埚设备内由低级硅原料形成熔融硅并对坩埚设备内的熔融硅进行定向凝固。所述定向凝固形成一定量的固化硅和一定量的熔融硅。本发明的方法和系统包括将坩埚设备内的所述一定量的熔融硅的至少一部分去除,同时保留...
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